電子工業(yè)純水系統(tǒng)從純水制備、純水輸送與分配、純水回收三個(gè)部分組成完整的現(xiàn)代電子工業(yè)出水系統(tǒng)。
電子與半導(dǎo)體材料和器件制造中，需要大量幾乎接近理論程度的18＋兆歐-厘米超純水。需要復(fù)雜的工藝過程和控制方案?？菩撬幚碚莆樟讼嚓P(guān)的核心技術(shù)和工程訣竅，已提供了150多套系統(tǒng)正服務(wù)于著名公司中。
200-1000LPH標(biāo)準(zhǔn)18＋兆歐-厘米超純水裝置，采用集成膜技術(shù)與拋光混床相結(jié)合工藝，一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案，廣泛應(yīng)用于中心實(shí)驗(yàn)室和中試批量生產(chǎn)中；客戶特制型超純水系統(tǒng)的最大產(chǎn)水量可達(dá)到200 M3/H，水質(zhì)符合美國ASTM 電子一級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)。
模塊化設(shè)計(jì)
從10噸/天到15000噸/天不同噸位的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)組；
全自動(dòng)運(yùn)行模式；
全自動(dòng)運(yùn)行模式；
定制化生產(chǎn)
產(chǎn)水水質(zhì)水量匹配；
適用性選材；
訂單化批量制作；
適用性選材；
訂單化批量制作；
應(yīng)用領(lǐng)域
電子與半導(dǎo)體材料和器件制造